非接觸式導(dǎo)向結(jié)構(gòu)陶瓷門型XY舞臺軸承

非接觸式導(dǎo)向結(jié)構(gòu)陶瓷門型XY舞臺軸承
非接觸導(dǎo)向結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）：采用空氣靜軸承和無鐵芯直線電機(jī)的組合，實現(xiàn)了非接觸的導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。無需擔(dān)心磨損或粉塵問題，能夠在長期內(nèi)保持亞微米級的運(yùn)動精度和姿態(tài)精度。

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更新時間：2025-10-28
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非接觸式導(dǎo)向結(jié)構(gòu)陶瓷門型XY舞臺軸承
非接觸式導(dǎo)向結(jié)構(gòu)陶瓷門型XY舞臺軸承

陶瓷材質(zhì)

門型XY舞臺

索迪克集成了核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)向結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）：采用空氣靜軸承和無鐵芯直線電機(jī)的組合，實現(xiàn)了非接觸的導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。無需擔(dān)心磨損或粉塵問題，能夠在長期內(nèi)保持亞微米級的運(yùn)動精度和姿態(tài)精度。
反力抵消結(jié)構(gòu)：上軸采用了加速反力抵消的平衡臺結(jié)構(gòu)。即使在高速定位時，也能通過加速反力抵消結(jié)構(gòu)實現(xiàn)無振動的高精度定位。
實現(xiàn)納米級位置控制：采用了索迪克高速運(yùn)動控制（SLMC）技術(shù)，該技術(shù)在超精密加工機(jī)和高精度電火花加工機(jī)中擁有豐富經(jīng)驗。

陶瓷材質(zhì)

門型XY舞臺

索迪克集成了核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)向結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）：采用空氣靜承和無鐵芯直線電機(jī)的組合，實現(xiàn)了非接觸的導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。無需擔(dān)心磨損或粉塵問題，能夠在長期內(nèi)保持亞微米級的運(yùn)動精度和姿態(tài)精度。
反力抵消結(jié)構(gòu)：上軸采用了加速反力抵消的平衡臺結(jié)構(gòu)。即使在高速定位時，也能通過加速反力抵消結(jié)構(gòu)實現(xiàn)無振動的高精度定位。
實現(xiàn)納米級位置控制：采用了索迪克高速運(yùn)動控制（SLMC）技術(shù)，該技術(shù)在超精密加工機(jī)和高精度電火花加工機(jī)中擁有豐富經(jīng)驗。

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